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CF真空法兰的安装要是还是很高的所以注意点不能忽视

文章来源:/news/41.html 发表时间:2019-02-01

CF真空法兰的安装要是还是很高的所以注意点不能忽视


CF真空法兰的内侧有凸起的锋利刀口,通过挤压无氧铜垫圈(或其他软金属)使其变形而达到密封真空的目的,是全金属材料的密封方式,被广泛应用于超高真空系统中。CF真空法兰也常用ICF法兰来表示,CF后面的数字是标准的导管内径,而ICF后面的数字是法兰的外径。
CF真空法兰分为固定型和松套型两种。固定型法兰为一体化结构。松套型法兰由挤压铜垫圈的刀口部分和通过螺栓的固定部分构成。法兰上可开通孔或螺纹孔。开有通孔的法兰要通过螺栓和螺母固定;开有螺纹孔的法兰可直接使用螺栓固定。法兰的材质主要为SUS304(SUS304L),因SUS304放出气体少,加工和焊接比较容易。
CF真空法兰的特点是不分雌雄,包括无氧铜垫圈在内全部由金属构成,因此可以承受高温(250℃以上)烘烤。其缺点是价格高,无氧铜垫圈不能多次重复使用。

CF真空法兰的安装:
CF真空法兰的安装要求较高。因为无氧铜垫圈被挤压后会变形,所以用均等力量扭紧螺栓非常重要。如果螺栓用力不均匀,会使对角位置的法兰翘起,以至于漏气。扭紧螺栓的力矩大约如下:M4螺栓20kgf·cm,M6螺栓70kgf·cm,M8螺栓100kgf·cm。

CF真空法兰使用注意事项:
CF真空法兰使用时有几个注意点:螺栓一定要涂抹 MoS2,以免螺栓和螺母咬合卡死;法兰外周要对齐;法兰面要保持一点距离,为烘烤后继续上紧螺栓留出余地。
CF真空法兰中,刀口要切入金属密封圈来实现真空密封。长期使用,刀口会逐渐变钝。另外,受硬器碰撞后刀口容易受伤。这时的补救措施之一,是使用IPD金属密封圈。IPD金属密封圈不依靠法兰的刀口,而依靠刀口外周的斜面来密封。


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