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平面阴极

详细说明

平面阴极

平面阴极特点:

1、 采用独特的磁路设计,突破传统模式,更符合磁控溅射的理念。
2、 采用独特的结构设计,可以内置、外置,更符合使用要求。
3、磁铁不被冷却水包围,减少腐蚀,且保证磁力线的有效曲线分布。
4、独特的布气方式,更加保膜层溅射的均匀性,其等离子状态更加平衡。
5、 更高的溅射率,离子密度更强。
6、 更高的利用率,高达40%以上。
7、 尺寸范围:可在300-3000mm区间,保持一致的均匀性
8、使用范围:如TI、AL、NI、CR、AZO、ITO等

来源:/supply/16.html
时间:2015-4-24 0:00:00

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